当代吴氏名流(73）

学界女杰清华高材生

德技双馨首席科学家

——记半导体器件和集成电路专家吴德馨院士

        宗贤吴德馨院士(以下尊称为:吴宗贤)，1936年12月20日出生于河北乐亭县，现年88岁。

中科院根据国家《科技发展规划》提出的：“计算机、电子学、半导体、自动化”新技术发展意见，即筹建科研机构并招募人才。

        吴宗贤1961年于清华大学无线电电子工程系毕业后入中科院半导体研究所工作,1986年调入微电子中心工作,后担任该中心主任。

        1960年初,她带领团队在国内首先研究成功:硅平面型高速开关晶体管,其提出的提高开关速度的方案被采用并向全国推广。

        1960年代末期，吴宗贤研究成功:介质隔离数字集成电路和高阻抗运算放大器模拟电路。

        1970年代末研究成功:MOS4K位动态随机存储器，在国内首先将正性胶光刻和干法刻蚀等技术用于大规模集成电路的研制。突破了LSI低下的局面;又相继研究成功16K位和64K位动态随机存储器；开发成功双层多晶硅和差值氧化工艺。独创了检测腐蚀接触孔质量的露点法。

        1980年代末，她又开发成功了:微米CMOSLSI全套工艺技术，用于专用电路;并研制成功多种专用集成器电路；后开发成功VDMOS 系列功率场效应器件和砷化镓异质结高电子迁移率晶体管。

        她被国家科委聘为:“深亚微米结构器件和介观物理”项目首席科学家，主要从事砷化镓微波集成电路和光电模块的研究。

中国早期微电子学研究的开拓者吴德馨院士

        1990年代，吴宗贤再次研究成功:0.8微米CMOSLSI 工艺技术和0.1 微米T型栅器件等。

        吴宗贤1991年当选为：中科院学部委 员（院士）。

        她曾荣获:国家科技进步二等奖、中科院科技进步一等奖；北京市科技一等奖。

        她的编著有：《现代微电子技术》等三本；还发表过20多篇学术论文。

        她曾任：国家重大科技攻关课题组负责人；攀登计划首席科学家；国家重大基础研究顾问专家组成员；中科院学部主席团成员和微电子所研究员 ；中国电子学会常务理事;半导体与集成技术分会主任; 第九、十届全国人大常委会委员和教科文卫委员会委员等职务。

        综观吴德馨宗贤为我国半导体器和集成电路所作出的卓越奉献，她是首席科学家，学界女杰，清华高材生;人如其名，德技双馨!

        吴忠祥搜集整理于云南昆明

        2024年8月1日

        作者简介:

        吴忠祥   , 名祯祥、字铭；1952年4月生,湖北通城县大坪乡易畈村人,大专文化。二十世纪六七十年代在本村当“乡村医生”,后在咸就读,毕业后在咸宁地区(市)卫生局(卫生健康委员会)工作至退休。因勤于笔耕爱好写作, 而被巜中国中医药报》聘为驻地记者，被《湖北日报》国家巜健康报》及省市多家媒体聘为通讯员。其利用业余时间免费为全市医疗卫生系统的工作“鼓与呼”；工作三十年间,在上述报刊杂志发表文章200余篇,有多篇作品在一些报刊或专题征文中分获二、三等和优秀、鼓励等奖项。退休后，咸宁市卫生局鼓励并支持其编辑出版《卫生情结》吴忠祥作品集一书。

 图文：吴忠祥

 编发：黎   曙

 审稿：吴小艾

 审核：吴合林